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キヤノン御手洗氏、ナノインプリント装置はEUVより「1桁」安い - Bloomberg

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御手洗氏は都内の本社での先月のインタビューでナノインプリント装置の特長について、「EUVに比べて全然安い。1桁違う」と述べ、「存在価値が非常にある関連キーワードはありません

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